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采用激光 - PSD（Position Sensitive Detector）技術(shù)，以高準(zhǔn)直性半導(dǎo)體激光束為理想直線基準(zhǔn)，通過高性能 PSD 接收器捕捉被測(cè)對(duì)象的位置偏移量。PSD 由 P 襯底、PIN 光電二極管及表面電阻構(gòu)成，相比傳統(tǒng) CCD 探測(cè)器，具有更高的位置分辨率、更寬的光譜響應(yīng)范圍和更快的響應(yīng)速度。測(cè)量數(shù)據(jù)經(jīng)專用軟件處理，運(yùn)用端點(diǎn)法、最小二乘等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)算法，精準(zhǔn)輸出直線度、平面度等關(guān)鍵參數(shù)。